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    秦皇岛本征晶体科技有限公司 晶体原料制备、晶体生长、元件初加工、精加工、镀膜和器件产业链闭环
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    光学等级硒化锌

    产品简介

        硒化锌材料是一种黄色透明的多晶材料, 结晶颗粒大小约为70μm, 透光范围0.5-15μm。由化学气相沉积(CVD)方法合成的基本不存在杂质吸收, 散射损失极低。

    加工形状:

        圆形,矩形,开孔,弯月,楔角,平凸,平凹,双凸,双凹,开球,棱镜。

    定制基本参数:

    直径范围3mm-300mm厚度范围2mm-100mm
    晶体类型多晶光洁度40-20,60-40
    直径公差+0.0/0.1厚度公差±0.1
    等级红外


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    产品型号产品介绍加工设备技术解答

    产品简介CVD硒化锌-CN -

    材料数据ZnSe 材料数据-CN-

    产品展示

    13




    生长车间生长车间13文字切割1130铣磨车间4抛光车间标题22444镀膜车间标题114非球车间12干涉仪34

    硒化锌介绍

    硒化锌介绍:

        硒化锌材料是一种黄色透明的多晶材料, 结晶颗粒大小约为70μm, 透光范围0.5-15μm。由化学气相沉积(CVD)方法合成的基本不存在杂质吸收, 散射损失极低。由于对10.6μm波长光的吸收很小, 因此成为制作高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。 此外在其整个透光波段内, 也是在不同光学系统中所普遍使用的材料。也用来制作全反射镜,半反射镜,扩束镜,平场透镜,中红外镜片,远红外10.6Um/CO2大小功率激光器上各种平凸透镜,凸凹月牙切割透镜,镀金反射镜,圆偏振镜,扩束镜,平场透镜等。

        硒化锌材料对热冲击具有很高的承受能力, 使它成为高功率CO2激光器系统中的最佳光学材料。硬度只是多光谱级ZnS的2/3, 材质较软易产生划痕, 而且材料折射率较大, 所以需要在其表面镀制高硬度减反射膜来加以保护并获得较高的透过率。在其常用光谱范围内, 散射很低。在用做高功率激光器件时, 需要严格控制材料的体吸收和内部结构缺陷, 并采用最小破坏程度的抛光技术和最高光学质量的镀膜工艺。广泛应用于激光,医学,天文学和红外夜视等领域中。

    硒化锌制备

        目前制备ZnSe主要方法为化学气相沉积法(CVD),使用化学气相沉积真空炉设备,以高纯度锌和高纯度H2Se气体为原料,以高纯惰性气体Ar气体为载气,在600℃~800℃的温度范围内将Zn蒸发为Zn蒸汽,由Ar气携带进入沉积室内,与同样由Ar携带进入到沉积室H2Se气体在650℃~850℃温度范围内得到ZnSe产品,沉积到石墨衬底上。

        步骤一,将厚度为30mm~50mm的一次成品多晶硒化锌片的作为待沉积面的一个表面进行表面处理,得到该表面的粗糙度小于Ra20的硒化锌抛光片,将硒化锌抛光片等离子清洗后置于石墨衬底沉积器的石墨衬底上;

        步骤二,将锌料安装在坩埚内;

        步骤三,将石墨衬底沉积器安装在石墨坩埚上且石墨衬底沉积器和石墨坩埚上下连通,再置于化学气相沉积真空炉内;

        步骤四,在室温下,化学气相沉积真空炉通氩气,维持化学气相沉积真空炉的炉内的真空度;

        步骤五,坩埚升温至坩埚的锌蒸发温度,石墨衬底沉积器升温至化学气相沉积温度;

        步骤六,坩埚内的锌开始蒸发,向石墨衬底沉积器内通入氩气携带的硒化氢气体,向坩埚内通入氩气且坩埚内的蒸发的锌蒸汽经由氩气携带进入石墨衬底沉积器,在石墨衬底沉积器内,氩气携带的锌蒸汽和氩气携带硒化氢气体反应以使硒化锌化学气相沉积在硒化锌抛光片的待沉积面上;

        步骤七,坩埚内的锌蒸发完毕,停止硒化氢气体的通入,坩埚降温至室温,石墨衬底沉积器降温至室温,出炉得到最终整体厚度为60mm~100mm的二次成品多晶硒化锌。

    硒化锌合格指标

    化学指标

    化学成分主要从杂质方面对硒化锌产品进行规定:

    ZnSe:99.999% 

    Cd:0.0001% Pb:0.0001% Sn:0.0001% Te:0.0001% Fe:0.0001%

    Al:0.0001% In:0.0001% Ni:0.0001% Cu:0.0001% Ag:0.0001%  

    总和:0.001%

        硒化锌为由5N硒化氢和5N锌通过化学气相沉结(CVD)法合成的物质,合成方法本身也是个纯化的过程,杂质主要考虑由硒合成的硒化氢及锌在气相沉积合成中带来的杂质,其中镉、铅、锡、铁、银、铝、铟、镍、铜容易由锌带来杂质的影响,碲、铁、银、镍容易由硒带入所以对这些杂质做出要求和限制。

    光学性能、热力学、机械性能等技术指标:

        硒化锌是一种广泛应用于红外夜视、激光、全反射镜、半反射镜等各种特征光学材料的新型材料,其优异的光学性能是由产品的光学性能、热力学、机械性能等方面的指标决定的,硒化锌的技术指标主要考虑硒化锌作为一种光学材料来控制材料的指标要求

    参数

         硒化锌的用途广泛,应用领域各不相同,折射率参数视不同要求而定,折射率的差别是通过镜面抛光和镀膜而实现。折射率温度系数也叫折射率温度变化率,一般以波长为10.6微米的光在硒化锌温度每变化一度时折射率的改变程度来衡量硒化锌的折射率在不同温度下的变化,从而确定硒化锌的产品质量,以6.1*10-5/K为指标是综合当今市场需求而制定的。投射率和光吸收系数均以10.6微米的波长为试验光波长,因为在该波长条件下,光的投射和吸收能最充分反应硒化锌光学材料的光学性能,可充分适应红外、激光、反射等光学应用的要求。

        热力学方面对于光学材料均以导热系数(也叫热传导率)、比热、热膨胀系数为考量要求,硒化锌是一种黄色透明的多晶材料,是一种光学材料,也同样用导热系数、比热、热膨胀系数作为主要的这种光学材料的要求。综合国内外的硒化锌的材料要求,把导热率定为18W/m/℃,比热定为0.356J/g/℃,热膨胀系数定为7.57ppm/K

        机械性能是硒化锌光学材料的特定要求。硒化锌的理论密度为5.27g/cm3。杨氏模量为10.2Mpsi/8.9Mpsi、努氏硬度为105~120Kg/mm2满足市场上各中用途的硒化锌对这些指标的要求。而泊松比和密度则为该中光学材料的固有特性。

    元件加工

    毛坯加工

        将生长出来的晶体进行研磨,根据研磨质量不同要求选用不同颗粒的细沙进行研磨,去除表面不均匀部分,根据产品尺寸要求在切割机上进行切割,切割完成后在水浴锅中进行融蜡粘接(水浴锅采用电加热,加热温度60℃,用融化后的石蜡的粘性粘接切割后的晶体,因只需把石蜡由固态加热至液态即可,固无废气产生),融蜡粘接完成后按照客户要求尺寸进行晶体滚圆,滚圆后进行水解(用水对石蜡进行溶解),水解完成后进行清洗,倒边,检验合格后为成品,不合格回到晶体切割工序再利用。

    切割

    抛光加工:

        晶体毛坯通过铣磨机进行铣磨,铣磨过程中产生废水,铣磨后再精磨,精磨过程中采用金刚砂进行精磨,精磨完成后进行抛光,抛光完成后进行定心割边,定心割边完成后进行清洗检验,清洗采用无水乙醇清洗擦拭(擦拭在擦拭台进行,无水乙醇用量极少,无需封闭集气处理。检验合格后为成品

    抛光加工

    精磨抛光

    (1)细磨精磨:

        1清洗模具:用洗衣粉清洗模具,以免上边残留的磨料划伤工件。

        2适当调整碾磨机的转速,待磨轮转动均匀后,开始磨修。

        3细磨精磨的方法:

        (a)磨平面时,先将工件轻轻放在磨轮上,然后轻轻加力并与磨轮转动方向呈反方向运动,运动轨迹最好成椭圆型,每磨固定圈数后,将工件自身旋转一定的角度,继续磨修。将工件放在磨轮中间可以磨修边缘,放在磨轮边缘可以磨修工件中间。注意不要用力过大,否则可能会使工件飞出或者造成划痕。

        (b)磨凸面时,方法与平面基本相同,当工件沿外缘转动时可以磨修中间,当工件在中间转动时可以磨修边缘。

        (c)当工件磨修差不多的时候,可以停止磨修,洗净工件,用六倍放大镜观察表面纹路,是否有划痕和沙眼,如果有继续修磨。

        (d)若表面合格,使用刀口尺观察平面的平整度,观察合格的标准为平面中心有一条头发丝细的亮线。

        4细磨使用302#的沙,精磨使用303、304的沙。

        5由细磨转为精磨的过程中,模具必需用洗衣粉清洗干净。

        6六倍放大镜和刀口尺的使用方法:

        六倍放大镜应在100W的白炽灯光下使用,使用时应远离工件10cm左右,看工件时工件应该斜对着灯光,边观察边慢慢旋转工件。使用刀口尺时,工件表面要确保干燥,要仰视工件就与刀口尺的结合部,使用刀口尺观察两次,两次角度应垂直。

    (2)抛光(古典法):

    古典

        1上盘:用沥青刚性上盘,上盘完后清洗抛光面。

        2调整好机床转速、摆幅,准备好热水、抛光液。

        3预热抛光模:将抛光模在50~60度的热水中烫一下,使抛光模软化。

        4在抛光模上涂上抛光液,覆盖在镜盘上,用手推几下,使之吻合。放上铁笔,开动机床,开始抛光。边抛光边添加抛光液。

        5抛光约15分钟后,取下工件,用洗衣粉洗净抛光面,用六倍放大镜观察表面疵病。在已抛光面上滴一滴乙醚与酒精的混合液,用纱布擦净,用同样的方法处理标准工件,然后使两者贴合在灯光下观察光圈。

        6光圈的识别和修改:

        低光圈:加压,空气减少,光圈缩小,光圈颜色为蓝、红、黄

        高光圈:加压,空气减少,光圈外扩,光圈颜色为黄、红、蓝

        工件在上:低光圈,工件往里收,多抛边沿;高光圈,工件往外拉,多抛中心。

        工件在下:低光圈,往外拉,多抛边缘;高光圈,往里收,多抛中心。

        7下盘,用汽油洗掉沥青,再上盘,抛另一面。注意已抛面应涂上保护漆,用酒精洗掉保护漆。

        8两面都抛光合格后,清洗工件。清洗工作台,抛光结束。

        9抛光的目的:

        (a)去掉表面的破坏层,达到规定的粗糙度。

        (b)精修面形,达到图纸要求的面形。

        (c)为以后的特种工艺如镀膜,胶合工序创造条件。

    定心磨边

    机械法定心:

        1定心原理:

        机械法定心是将透镜放在一对同轴精度高、端面精确垂直于轴线的接头之间,利用弹簧压力夹紧透镜,根据力的平衡来实现定心。其中一个接头可以转动,另一个既能转动又能沿轴向移动。

        2操作自动定心磨边机:

        打开电源,先开水泵,然后开砂轮。

        接着根据零件的尺寸调节前边的定位千分尺,调节后边的千分尺对刀,听到细微的摩擦声即对刀完成,再将千分尺向后拧一些,然后再次调节前边的千分尺,调节至目标尺寸。然后即可按下自动操作键,磨边机会自动完成定心磨边。

    产品合规性

    气泡和条纹-微观的:

        所有晶体和玻璃材料,没有完美的材料,都会有细小的气泡或是条纹;这个在国标中有规定。ICC的符合国标。

        需要注意的是,有些气泡和条纹,在棒材阶段是监测不出来的,切片也看不出,只有精密抛光后,在有经验的检验员或是精密检测仪器下,才能看到。

    包裹物,散射颗粒:

        晶体材料里面有可见白点,星星点点,用激光笔照射候,发光。这些是绝对不合格品的表现。

    颜色:

        颜色多是材料在清洗过程中,酸碱配比不一致;亮度不一致,多为晶体方向或是晶体结构不同,譬如111方向可能不如100方向更亮或是透一些。

    晶体定向

    晶体定向知识-为何晶体要定向

        晶体结构即晶体的微观结构,是指晶体中实际质点(原子、离子或分子)的具体排列情况。自然界存在的固态物质可分为晶体和非晶体两大类,固态的金属与合金大都是晶体。晶体与非晶体的最本质差别在于组成晶体的原子、离子、分子等质点是规则排列的(长程序),而非晶体中这些质点除与其最相近外,基本上无规则地堆积在一起(短程序)。金属及合金在大多数情况下都以结晶状态使用。晶体结构是决定固态金属的物理、化学和力学性能的基本因素之一。

    图片1

    晶系

        已知晶体形态超过四万种,它们都是按七种结晶模式发育生长,即七大晶系。晶体是以三维方向发育的几何体,为了表示三维空间,分别用三、四根假想的轴通过晶体的长、宽、高中心,这几根轴的交角、长短不同而构成七种不同对称、不同外观的晶系模式:等轴晶系,四方晶系,三方晶系,六方晶系,斜方晶系,单斜晶系,三斜晶系。

    图片2

    晶面

        晶面指数(indices of crystal face)是晶体的常数之一,是晶面在3个结晶轴上的截距系数的倒数比,当化为整数比后,所得出的3个整数称为该晶面的米勒指数(Miller index)。六方和三方晶系晶体当选取4个结晶轴时,一个晶面便有4个截距系数,由它们的倒数比所得出的4个整数则称为晶面的米勒—布拉维指数(Miller Bravais indices)。以上两种指数一般通称为晶面指数

        在晶体中,原子的排列构成了许多不同方位的晶面,故要用晶面指数来分别表示这些晶面。晶面指数的确定方法如下:

        1.对晶胞作晶轴X、Y、Z,以晶胞的边长作为晶轴上的单位长度;

        2.求出待定晶面在三个晶轴上的截距(如该晶面与某轴平行,则截距为∞)

        3.取这些截距数的倒数,例如 110,111,112等;

        4.将上述倒数化为最小的简单整数,并加上圆括号,即表示该晶面的指数,一般记为(hkl),例如(110),(111),(112)等。

    晶面

    晶向

        晶向是指晶体的一个基本特点是具有方向性,沿晶格的不同方向晶体性质不同。布拉维点阵的格点可以看成分列在一系列相互平行的直线系上,这些直线系称为晶列。同一个格点可以形成方向不同的晶列,每一个晶列定义了一个方向,称为晶向。

        标志晶向的这组数称为为晶向指数。

        由于晶体具有对称性,有对称性联系着的那些晶向可以方向不同,但它们的周期却相同,因而是等效的,这些等效晶向的全体可用尖括号< α β γ >来表示。对于立方系,晶向[100]、[010]、[001]及其相反晶向就可以用<100>表示,其它晶系不适用。

        立方晶系的晶向指数可用[uvw]来表示。其确定步骤为:

        (1)选定晶胞的某一阵点为原点,以晶胞的3条棱边为坐标轴,以棱边的长度为单位长度;

        (2)若所求晶向未通过坐标原点,则过原点作一平行于所求晶向的有向直线;

        (3)求出该有向直线上距原点最近的一个阵点的坐标值u、v和w;

        (4)将三个坐标值按比例化为最小整数,依次放入方括号[]内,即为所求晶向指数

    晶向

    波段划分

    可见光 

        指能引起视觉的电磁波。可见光的波长范围在0.77~0.39微米之间。波长不同的电磁波,引起人眼的颜色感觉不同。0.77~0.622微米,感觉为红色;0.622~0.597微米,橙色;0.597~0.577微米,黄色;0.577~0.492微米,绿色;0.492~0.455微米,蓝靛色;0.455~0.39微米,紫色。 

    红外光谱(infrared spectra)

        指以波长或波数为横坐标以强度或其他随波长变化的性质为纵坐标所得到的反映红外射线与物质相互作用的谱图。按红外射线的波长范围,可粗略地分为近红外光谱(波段为0.8~2.5微米)、中红外光谱(2.5~25微米)和远红外光谱(25~1000微米)。对物质自发发射或受激发射的红外射线进行分光,可得到红外发射光谱,物质的红外发射光谱主要决定于物质的温度和化学组成;对被物质所吸收的红外射线进行分光,可得到红外吸收光谱。每种分子都有由其组成和结构决定的独有的红外吸收光谱,它是一种分子光谱。分子的红外吸收光谱属于带状光谱。原子也有红外发射和吸收光谱,但都是线状光谱。 

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    紫外光谱 

        紫外光谱是分子中某些价电子吸收了一定波长的电磁波,由低能级跃近到高能级而产生的一种光谱,也称之为电子光谱。目前使用的紫外光谱仪波长范围是200~800nm。其基本原理是用不同波长的近紫外光(200~400nm)依次照一定浓度的被测样品溶液时,就会发现部分波长的光被吸收。如果以波长λ为横坐标(单位nm),吸收度 (absorbance)A为纵坐标作图,即得到紫外光谱(ultra violet spectra,简称UV)。

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